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      基礎信息Product information
      產品名稱:

      機電薄膜e31測試儀

      產品型號:

      廠商性質:生產廠家

      所在地:北京市

      更新日期:2020-12-21

      產品簡介:

      機電薄膜e31測試儀可用aix4PB系統測試。薄膜材料的機電性能是MEMS器件設計的關鍵性能,縱向壓電系數d33和橫向壓電系數e31被用于表征傳感器和執行器的這些關鍵性能。

      產品特性Product characteristics

      薄膜材料的機電性能是MEMS器件設計的關鍵性能,縱向壓電系數d33和橫向壓電系數e31被用于表征傳感器和執行器的這些關鍵性能。
      縱向壓電系數可由aixDBLI測試,而橫向壓電系數e31就可用aix4PB系統測試。
      通過必要夾具,可以測得正向e31和逆向e31。

      標準的aix4PB系統主要由以下部分組成:四點彎曲樣品夾具、TF Analyzer 2000、單光束激光測振儀。

      可以進行如下測試功能:
      全部鐵電性能表征,基于TF2000系統,包括極化、電容、漏電流、疲勞測試。
      有效橫向壓電系數的測量通過交替均勻機械力施加于樣品,并測試產生的電荷。
      所有的測量數據也可以在附加的壓縮或拉伸靜態負載下進行,這也覆蓋了整個壓電薄膜在整個MEMS器件中的行程。

      特點/規格:
      四點彎曲樣品夾具:
      產生力的壓電執行器
      激光測振儀夾具
      很容易接觸到頂部和底部的樣品電極
      所有的TF2000系統的測試功能 
      遠程接入和腳本控制的可選件
      單光束激光干涉儀,最小分辨率1nm

      軟件:
      Windows 7 操作系統
      通過GPIB或以太網的遠程接入和腳本控制
      通過ODBC接口的數據庫連接
      測試數據通過ASCII形式輸出
      測試數據交換通過aixPlorer軟件或Resonance Analyzer

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