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      基礎信息Product information
      產品名稱:

      雙光束激光干涉儀

      產品型號:

      廠商性質:生產廠家

      所在地:北京市

      更新日期:2020-12-18

      產品簡介:

      雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數d33的測試。這是適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的。

      產品特性Product characteristics

      雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數d33的測試。
      雙光束激光干涉儀這是適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的。
      半自動的系統用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關性能的測試。
      大量樣品測試的重復精度可達2%以上。

      測試功能:
      機電大信號應變、極化、壓電系數、小信號介電常數。
      疲勞和電性及機械性能可靠性。

      樣品測試:
      極化曲線和位移曲線。
      小信號電容及壓電系數。

      技術參數:
      分辨率: ≤1 pm(X晶向的石英)
      測量范圍:5pm- +/- 25nm
      波長:632.8nm
      位移/應力測試:>50Hz,最小1Hz分辨率,100mV到10V(可選到200V)
      壓電d33系數:
        基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
        小信號100mV到10V(1kHz到5kHz)
      C-V測試:
        基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
      小信號100mV到10V(1kHz到5kHz)

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